由于某些特殊材料存在菲涅尔反射和对光的强烈吸收，用吸收光谱来分析此类材料是很难实现的。在这种前提下，研究这类吸收材料最可行的方法就是衰减全反射（ATR）。光在光密介质和吸收介质界面，以大于全反射临界角入射时，反射效率会因为倏逝波与被测材料表面等离子体相耦合而衰减。此反射效率依赖于入射角、偏振方向和被测材料的折射率。正确的选择THz棱镜参数（尤其是棱镜角度）会获得好的ATR光谱。