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透镜材料为高阻硅HRFZ-Si，高阻区熔硅是太赫兹天线应用的理想元件，太赫兹波段的折射率约为3.45，它是将太赫兹天线产生的太赫兹波耦出的重要元件，也是将太赫兹（THz）辐射耦入到集成电路中的非常重要的工具。

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